ecr是什么意思的缩写(ecr是什么意思)
更新时间:2026-05-14 02:24:11
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1、电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance)微波等离子技术是本世纪六十年代中期开始的,经过几十年的发展,现在已日趋成熟。
2、微波ECR等离子体与传统等离子体相比,具有高密度、高能量转换率、低工作气压、无电极放电、高各向异性以及低离子能量等优点,最初被应用于核聚变的开发研究,后来又在托卡马克、串级磁镜等聚变装置中进行等离子体加热研究。
3、近年来,ECR等离子体被广泛运用于微电子技术,材料加工,低温表面处理工艺中。
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